在調節雙頻激光干涉(she)儀光路時(shi)，請遵循(xun)以下基本流程(cheng)：

1、  將雙頻激(ji)光器(qi)(qi)放(fang)置在激(ji)光器(qi)(qi)可調底座（如有(you)）上，通電點亮激(ji)光器(qi)(qi)，等待其預熱；如預熱結(jie)束，激(ji)光器(qi)(qi)尾部的“READY” LED指示(shi)(shi)燈會顯示(shi)(shi)綠色(se)。鎖定激(ji)光器(qi)(qi)位置。

2、   將(jiang)所有導(dao)光(guang)(guang)(guang)元件(jian)初(chu)步固定(ding)在導(dao)光(guang)(guang)(guang)元件(jian)可調(diao)(diao)底(di)座上，并(bing)安裝在設計位置；沿(yan)著光(guang)(guang)(guang)路(lu)(lu)順序，逐個調(diao)(diao)節(jie)(jie)導(dao)光(guang)(guang)(guang)元件(jian)。遇到光(guang)(guang)(guang)路(lu)(lu)分叉時，請先(xian)調(diao)(diao)節(jie)(jie)反(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)路(lu)(lu)，然后調(diao)(diao)節(jie)(jie)投射(she)光(guang)(guang)(guang)路(lu)(lu)。調(diao)(diao)節(jie)(jie)時請注意以下(xia)兩點：

a：旋轉激光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)器出光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)口的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)闌，選擇大光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑（6mm或(huo)者9mm光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑），依次(ci)調整(zheng)導(dao)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)元件的(de)(de)橫(heng)向位(wei)置，使(shi)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)從導(dao)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)元件通光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)孔的(de)(de)中心(xin)入射，保證光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)不會出現消光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)現象；

b：選擇小(xiao)光(guang)斑（3mm光(guang)斑），依次調節各個導光(guang)元件(jian)的(de)位置(zhi)。將一平面鏡（前(qian)后(hou)面平行度較(jiao)高(gao)）緊貼導光(guang)元件(jian)的(de)反射(she)光(guang)出口處(chu)(chu)，通(tong)過(guo)調整可調底座的(de)俯仰(yang)度和傾斜度，使反射(she)光(guang)沿原(yuan)路返回至激光(guang)器出光(guang)處(chu)(chu)。然后(hou)鎖緊導光(guang)元件(jian)的(de)位置(zhi)。

3、     裝調完所有的(de)導光元件之(zhi)后，安(an)裝干涉(she)儀。請遵循以下步驟(zou)：

a：確保運(yun)動(dong)(dong)臺上的反(fan)射鏡(jing)面與(yu)運(yun)動(dong)(dong)軸垂直(zhi)（運(yun)動(dong)(dong)臺的裝配工藝保證）。

b：調(diao)節光軸與(yu)運動(dong)(dong)軸平行。初步(bu)固定干(gan)涉儀(yi)(yi)，選擇小光斑(ban)，在運動(dong)(dong)臺(tai)的(de)光斑(ban)位(wei)置做個(ge)記號（比(bi)如在被測(ce)對象(xiang)上(shang)貼紙片，在紙片上(shang)光斑(ban)照(zhao)射(she)的(de)位(wei)置做個(ge)記號），將(jiang)運動(dong)(dong)臺(tai)沿運動(dong)(dong)方向移動(dong)(dong)至距干(gan)涉儀(yi)(yi)近(jin)端與(yu)遠端，通過(guo)調(diao)整離(li)干(gan)涉儀(yi)(yi)的(de)導光件(jian)使(shi)得(de)激光束入射(she)到(dao)測(ce)量鏡(jing)的(de)位(wei)置始(shi)終嚴(yan)格(ge)保(bao)持不(bu)變。反(fan)復將(jiang)運動(dong)(dong)臺(tai)移動(dong)(dong)至近(jin)端與(yu)遠端，微(wei)調(diao)導光件(jian)位(wei)置以達到(dao)較佳效果。

c：微調干涉(she)儀(yi)(yi)的位(wei)置，使干涉(she)儀(yi)(yi)出光面處測量光斑和參考光斑重合(he)。

d：切換成大光(guang)(guang)斑(ban)，確(que)認參考光(guang)(guang)斑(ban)和測量光(guang)(guang)斑(ban)重合，且光(guang)(guang)斑(ban)形狀(zhuang)完整（不(bu)消光(guang)(guang)）。

e：安裝光纖(xian)耦合器。

f：連(lian)接光纖至信號處理卡。