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激光干涉儀在計量檢定領域的應用
發布時間:2022-08-11瀏覽次數:87

以光波為載體,以激光為長度基準,精度高,高靈敏度測量儀器。激光干涉儀不僅廣泛應用于數控機床等高端設備,激光切割機,光刻機等,在計量檢定領域也可以展示自己的技能,今天小編就為大家介紹一些常見的案例。

1.測長機檢定

傳統的長長機示值誤差主要由量塊校準,受環境因素影響較大,校準條件要求較高,測量范圍大于1m長度測量機需要分段校準,效率低。激光干涉儀的校準不僅可以提高效率,還可以通過環境補償單溫度進行校準,壓力,補償濕度和材料溫度,提高校準精度。

2.三坐標測量機

隨著三坐標測量機技術的更新和發展,采用了傳統的量塊技術,球板不能滿足大型三坐標測量機的檢測要求。測量精度高,測量范圍大,測量數據豐富,適用于測量三坐標的幾何誤差。

3.檢定位移傳感器

激光干涉儀檢定位移傳感器已成為測量精度高的發展趨勢,反應速度快,易于數字測量。在測量過程中,設計了一個精確的導軌,同步檢測反射鏡和測量傳感器,形成位移傳感器自動檢定系統的對比激光干涉儀(標準)對定長位移進行往復試驗。

4.圖像儀定位精度測量

傳統的圖像儀檢測方法采用線紋尺比對法,檢測精度低,測量系統誤差大,缺乏原因分析功能,改進方向不準確,檢測效率低。激光干涉儀的使用可以快速檢測圖像儀的定位誤差,計算分析測量數據,利用軟件生產補償文件快速實現二維平面多點補償,大大降低了設備制造過程中精度檢測的難度,提高檢測效率和補償效率。



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