激光干涉儀用于重復定位精度測量
發布時間：2019-02-01瀏覽次數：3886
1、重復定位精度測量原理
重復定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。
線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個角錐反射鏡安裝到待測目標上，它與干涉鏡之間形成干涉儀的測量光路。隨著平移裝置多次位移，每移動設定位移量之后，由干涉儀記錄測量光路改變量，即平移裝置的位移量。
2、測量數據處理
重復定位精度包括平移裝置的單點定位精度和整個位移范圍內的不同位置點上的定位精度兩種。前者可以通過調整裝置使多次移動到同一標稱位置，并暫停幾秒，記錄位移量；測量其位移偏差量；后者擇在整個位移范圍不同位置點上測量實際位移與標稱值的偏差，使待測位移裝置移動到目標位置點，并暫定進行測量。將多次定位測量數據進行分析處理，得到裝置的重復定位精度。
3、重復定位精度測量用組件
重復定位精度測量用到的激光干涉儀組件：
激光干涉儀測頭、線性測量光學鏡組、光路折轉量光學鏡組、環境補償單元、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、重復定位精度測量應用
數控機床/坐標測量機導軌的重復定位精度測量
機床X、Y軸平移臺的重復定位精度測量
高精度機械元件的校準
線性電機或壓電陶瓷平移臺的重復定位精度測量
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