氦氖(HeNe)激光器是首先實現激光振蕩輸出的氣體激光器。HeNe激光器輸出的是Ne的光譜線，在可見和紅外波段有多條，其中最強的是0.6328μm、1.15μm 和3.39μm 三條譜線。我們可以采取一些方法去抑制其中的兩種，而使我們所需要的一種波長的激光得到輸出。632.8nm（紅光）因輸出為可見波段的激光，實際應用較為廣泛。

由于HeNe激光束具有單色性和方向性好,輸出功率和波長能夠控制得很穩定，并且結構簡單、造價低廉等優點，因而廣泛應用于精密計量、檢測、準直、信息處理，以及醫療、光學實驗等多個方面。

HeNe激光器是玻璃管狀結構，玻璃是氣密性非常優良的材料。HeNe激光器是一種小功率激光器，放電管長十幾厘米的激光器輸出功率為毫瓦上下，放電管長1~2m 的激光器輸出功率可達幾十至百毫瓦。HeNe激光器是放電激勵的氣體激光器的典型代表，它的工作過程、制造工藝和設計器件的方法對其他氣體激光器都有參考意義。

單頻激光干涉儀使用單頻激光器、雙縱模熱穩頻技術進行穩頻。由于兩縱模的頻率間隔約為1GHz，超出了信號處理器的細分運算能力，故其中一個縱模的激光會由偏振片舍棄，測量過程中實際只使用通過偏振片的單縱模激光。最終采用零差干涉原理（調幅）進行測量。

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